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Außenluftaufbereitung in der Mikroelektronik

  • Ziel Das Ziel der Diplomarbeit war es, die Entfeuchtung mit einem herkömmlichen Oberflächenkühler (Kupfer-Lamellen-Wärmeübertrager) und einem Adsorptionsentfeuchter energetisch zu vergleichen und daraus den Einsatz eines Adsorptionsentfeuchters zur Klimatisierung bewerten. Methodik Gemäß den Anforderungen eines Mikroelektronikherstellers an die RLT-Anlage wird ein Anlagekonzept für einen Adsorptionsentfeuchter entwickelt. Die Stundenmesswerte der Außenluft von einem Standort in Deutschland wurden den entsprechenden Feldern des h,x-Diagramms zugeordnet. Die thermodynamische Prozessberechnung wie das Heizen, das Kühlen, das Mischen und das Entfeuchten wurde für die Felder durchgeführt und anschließend der Energiebedarf der Anlage für ein Jahr berechnet. Ergebnisse Beim Einsatz eines Adsorptionsentfeuchters reduziert sich der Kälteenergiebedarf um etwa 20 Prozent im Vergleich zu einer herkömmlichen Lüftungsanlage mit einem Oberflächenkühler. Im Gegensatz steigt der Heizenergiebedarf um 50 Prozent im Vergleich zu einer herkömmlichen Lüftungsanlage. Schlussfolgerung Besteht bei einer Anlage die Möglichkeit, dass die Abwärme zum Beispiel aus einem BHKW, einer Kälteanlage oder der Prozesswärme genutzt wird, so können in einer RLT-Anlage die Energiekosten durch den Einsatz eines Adsorptionsentfeuchters gespart werden.

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Metadaten
Advisor:Andre Kremonka
Document Type:Diploma Thesis
Language:German
Year of Completion:2022
Date of Publication (online):2022/09/29
Publishing Institution:Staatliche Studienakademie Glauchau
Granting Institution:Staatliche Studienakademie Glauchau
Release Date:2023/05/23
Pagenumber:135
Institutes:Studienbereich Technik
Licence (German):License LogoCreative Commons - Namensnennung

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