Prozessoptimierung an einer Anlage zur verweilzeitgesteuerten Ionenstrahl-Formfehlerkorrektur
Process optimisation of a system for residence time controlled ion beam trimming
- Optimierung der Emissionsstromreglung einer 40mm ICP-Ionenstrahlquelle. Evaluierung von Achsensystemen für verweilzeitgesteuertes Ionenstrahltrimmen. Verweilzeitgesteuerte Ionenstrahl-Formfehlerkorrektur für optische Substrate.
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| Author: | Sascha Köhler |
|---|---|
| Document Type: | Diploma Thesis |
| Language: | German |
| Year of Completion: | 2010 |
| Date of Publication (online): | 2010/09/13 |
| Release Date: | 2010/09/13 |
| Tag: | Ionenstrahlquelle ion beam source |
| GND Keyword: | Formmangel; Ionenstrahl; Vakuum |
| Note: | gesperrt |
| Institutes: | Studienbereich Technik / Produktionstechnik |
| Dewey Decimal Classification: | Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften / Technik / Technik, Technologie |
