TY  - GEN
A1  - Köhler, Sascha
T1  - Prozessoptimierung an einer Anlage zur verweilzeitgesteuerten Ionenstrahl-Formfehlerkorrektur
T1  - Process optimisation of a system for residence time controlled ion beam trimming
N2  - Optimierung der Emissionsstromreglung einer 40mm ICP-Ionenstrahlquelle. Evaluierung von Achsensystemen für verweilzeitgesteuertes Ionenstrahltrimmen. Verweilzeitgesteuerte Ionenstrahl-Formfehlerkorrektur für optische Substrate.
KW  - Ionenstrahl
KW  - Vakuum
KW  - Formmangel
KW  - Ionenstrahlquelle
KW  - ion beam source
Y1  - 2010
UR  - https://opus.ba-glauchau.de/frontdoor/index/index/docId/1175
N1  - gesperrt
ER  -